C4F6
六氟-1,3-丁二烯
代號C4F6,是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣,具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點,可以實現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工,為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能;同時六氟-1,3-丁二烯環(huán)境友好,GWP<<1,大氣壽命1.1天,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。
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六氟-1,3-丁二烯
代號C4F6,是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣,具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點,可以實現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工,為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能;同時六氟-1,3-丁二烯環(huán)境友好,GWP<<1,大氣壽命1.1天,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。
化學(xué)名稱 | 六氟-1,3-丁二烯 |
別名 | 全氟丁二烯 |
CAS號 | 685-63-2 |
ELINCS號 | 211-681-0 |
化學(xué)式 | C4F6 |
結(jié)構(gòu)式 | CF2=CF-CF=CF2 |
分子量 | 162.03 |
ODP(CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100(CO2 = 1) | <<1 |
大氣壽命(天) | 1.1 |
化學(xué)名稱 | 六氟-1,3-丁二烯 |
沸點(℃) | 6 |
熔點(℃) | -130 |
液體密度(@20 ℃,g/cm3) | 1.44 |
臨界溫度(℃) | 139.6 |
臨界壓力(bar) | 31.9 |
?
純度 | 99.9% | 99.99% |
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鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
10 L | CGA 350 / DISS 724 | 10 kg |
44 L | CGA 350/DISS 724 | 45 kg |
926 L | QF-13 | 1000 kg |
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