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HFC-41

一氟甲烷
又稱氟甲烷、甲基氟，代號HFC-41，分子式：CH3F，作為Si3N4 的各向異性刻蝕氣體，對SiO2及Si有較高選擇比，在最前端微細結構的刻蝕制程中受到關注，用于3D NAND、DRAM以及Fin-FET半導體器件的制造。

產品信息概括

產品信息概括

化學名稱 一氟甲烷
別名 HFC-41
CAS號 593-53-3
ELINCS號 209-796-6
化學式 CH3F
結構式 CH3-F
分子量 34.03
ODP（CFC-11 = 1） 0
GWP100（CO2 = 1） 137
大氣壽命（年） 2.8

 

物理與化學特性

化學名稱 一氟甲烷
沸點（℃） -78.4
熔點（℃） -142
液體密度（@20 ℃,g/cm3） 0.61
蒸汽密度（空氣=1） 1.2
飽和蒸氣壓（@20 ℃，bar） 33
臨界溫度（℃） 44.5

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產品規(guī)格

純度 99.9% 99.99%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
10.2 L CGA 350 / DISS 724 3 kg
44 L CGA 350 / DISS 724 12 kg
500 L Routine 130 kg

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