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HFC-236fa

1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代號(hào)HFC-236fa,分子式:C3H2F6,為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息概括

化學(xué)名稱 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
別名 HFC-236fa
CAS號(hào) 690-39-1
ELINCS號(hào) 614-909-0
化學(xué)式 C3H2F6
結(jié)構(gòu)式 CF3CH2CF3
分子量 152.04
外觀(常溫常壓下) 氣體
顏色 無色
味道 無味
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 9120
大氣壽命(年) 213
TWA(8-hr) 1000 ppm

 

物理與化學(xué)特性

化學(xué)名稱 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
沸點(diǎn)(℃) -1.4
凝固點(diǎn)(℃) -103
液體密度(@20 ℃,g/cm3) 1.36
飽和蒸氣壓(@25 ℃,kPa) 272.4
臨界溫度(℃) 124.9
水中溶解度(@20 ℃) 2100
閃點(diǎn)(℃) 不適用(不可燃)
可燃性(@20 ℃) 不適用(不可燃)
爆炸極限(%vol) 不適用(不可燃)

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 99.9% 99.99%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
10 L CGA 660/DISS 716 9 kg
44 L CGA 660/DISS 716 40 kg

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