HFC-236fa
1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代號(hào)HFC-236fa,分子式:C3H2F6,為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
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1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代號(hào)HFC-236fa,分子式:C3H2F6,為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
化學(xué)名稱 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
別名 | HFC-236fa |
CAS號(hào) | 690-39-1 |
ELINCS號(hào) | 614-909-0 |
化學(xué)式 | C3H2F6 |
結(jié)構(gòu)式 | CF3CH2CF3 |
分子量 | 152.04 |
外觀(常溫常壓下) | 氣體 |
顏色 | 無色 |
味道 | 無味 |
ODP(CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100(CO2 = 1) | 9120 |
大氣壽命(年) | 213 |
TWA(8-hr) | 1000 ppm |
化學(xué)名稱 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
沸點(diǎn)(℃) | -1.4 |
凝固點(diǎn)(℃) | -103 |
液體密度(@20 ℃,g/cm3) | 1.36 |
飽和蒸氣壓(@25 ℃,kPa) | 272.4 |
臨界溫度(℃) | 124.9 |
水中溶解度(@20 ℃) | 2100 |
閃點(diǎn)(℃) | 不適用(不可燃) |
可燃性(@20 ℃) | 不適用(不可燃) |
爆炸極限(%vol) | 不適用(不可燃) |
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純度 | 99.9% | 99.99% |
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鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
10 L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
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