HFC-236ea
1,1,1,2,3,3-六氟丙烷
代號(hào)HFC-236ea,分子式:C3H2F6,為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
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1,1,1,2,3,3-六氟丙烷
代號(hào)HFC-236ea,分子式:C3H2F6,為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
化學(xué)名稱 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
別名 | HFC-236ea |
CAS號(hào) | 431-63-0 |
ELINCS號(hào) | 207-076-6 |
化學(xué)式 | C3H2F6 |
結(jié)構(gòu)式 | CF3CFH2CF2 |
摩爾質(zhì)量 | 152.04 |
ODP(CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100(CO2 = 1) | 1330 |
大氣壽命(年) | 11.4 |
化學(xué)名稱 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
沸點(diǎn)(℃) | 6.19 |
臨界溫度(℃) | 139.29 |
臨界壓力(bar) | 3.5 |
?
純度 | 99.9% | 99.99% |
??
鋼瓶規(guī)格 | 閥門(mén) | 充裝量 |
10.2 L | CGA 350 / DISS 724 | 10 kg |
44 L | CGA 350 / DISS 724 | 44 kg |
47 L | CGA 350 / DISS 724 | 47 kg |