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溴化氫

溴化氫
除了含Cl和F的氣體外,溴化氫(HBr)也是一種常用的氣體,當(dāng)柵極氧化層的厚度小于10 nm時,用HBr等離子體,對多晶硅/Si02的刻蝕選擇比高于以CI為主的等離子體。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息概括

化學(xué)名稱 溴化氫
別名 氫溴酸
CAS號 10035-10-6
ELINCS號 233-113-0
化學(xué)式 HBr
結(jié)構(gòu)式 HBr
分子量 80.912
大氣壽命(小時) 2.5
TWA(8-hr, ppm) 3

 

物理與化學(xué)特性

化學(xué)名稱 溴化氫
沸點(℃) -66.38
熔點(℃) -86.8
液體密度(-84 ℃,g/cm3) 2.603
蒸汽密度(空氣=1) 2.71
飽和蒸氣壓(21 ℃,MPa) 2.308
臨界溫度(℃) 89.8
臨界壓力(atm) 84.5
水中溶解度(20 ℃, g/ml) 1.93
閃點(℃) 不適用(不可燃)
可燃性(@20 ℃) 不適用(不可燃)
爆炸極限(%vol) 不適用(不可燃)

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 99.999% 99.9999%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
10.2 L CGA 350 / DISS 634 10 kg
44 L CGA 350 / DISS 634 45 kg
47 L CGA 350 / DISS 634 50 kg