溴化氫
溴化氫
除了含Cl和F的氣體外,溴化氫(HBr)也是一種常用的氣體,當(dāng)柵極氧化層的厚度小于10 nm時,用HBr等離子體,對多晶硅/Si02的刻蝕選擇比高于以CI為主的等離子體。
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溴化氫
除了含Cl和F的氣體外,溴化氫(HBr)也是一種常用的氣體,當(dāng)柵極氧化層的厚度小于10 nm時,用HBr等離子體,對多晶硅/Si02的刻蝕選擇比高于以CI為主的等離子體。
化學(xué)名稱 | 溴化氫 |
別名 | 氫溴酸 |
CAS號 | 10035-10-6 |
ELINCS號 | 233-113-0 |
化學(xué)式 | HBr |
結(jié)構(gòu)式 | HBr |
分子量 | 80.912 |
大氣壽命(小時) | 2.5 |
TWA(8-hr, ppm) | 3 |
化學(xué)名稱 | 溴化氫 |
沸點(℃) | -66.38 |
熔點(℃) | -86.8 |
液體密度(-84 ℃,g/cm3) | 2.603 |
蒸汽密度(空氣=1) | 2.71 |
飽和蒸氣壓(21 ℃,MPa) | 2.308 |
臨界溫度(℃) | 89.8 |
臨界壓力(atm) | 84.5 |
水中溶解度(20 ℃, g/ml) | 1.93 |
閃點(℃) | 不適用(不可燃) |
可燃性(@20 ℃) | 不適用(不可燃) |
爆炸極限(%vol) | 不適用(不可燃) |
?
純度 | 99.999% | 99.9999% |
?
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鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
10.2 L | CGA 350 / DISS 634 | 10 kg |
44 L | CGA 350 / DISS 634 | 45 kg |
47 L | CGA 350 / DISS 634 | 50 kg |