六氟丙烯
六氟丙烯
代號(hào)HFP或PFC-1216，化學(xué)式：C3F6，六氟丙烯為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
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六氟丙烯
代號(hào)HFP或PFC-1216，化學(xué)式：C3F6，六氟丙烯為電子工業(yè)等離子刻蝕工藝中重要的刻蝕氣體。
| 化學(xué)名稱 | 六氟丙烯 |
| 別名 | 全氟丙烯，R-1216，HFP |
| CAS號(hào) | 116-15-4 |
| ELINCS號(hào) | 204-127-4 |
| 化學(xué)式 | C3F6 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CF3CF=CF2 |
| 分子量 | 150.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <<1 |
| 大氣壽命（年） | 5.5 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 六氟丙烯 |
| 沸點(diǎn)（℃） | -30.3 |
| 熔點(diǎn)（℃） | -156.5 |
| 液體密度（20 ℃，g/cm3） | 1.33 |
| 飽和蒸氣壓（25 ℃,kPa） | 690 |
| 臨界溫度（℃） | 85.8 |
| 臨界壓力（MPa） | 2.7 |
| 水中溶解度 | 不溶 |
| 閃點(diǎn)（℃） | 不適用（不可燃） |
| 可燃性 | 不適用（不可燃） |
| 爆炸極限（%vol) | 不適用（不可燃） |
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| 純度 | 99.9% | 99.99% |
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| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門(mén) | 充裝量 |
| 10 L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
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