二氟甲烷
二氟甲烷
代號HFC-32，分子式：CH2F2，作為Si3N4 的各向異性刻蝕氣體，對SiO2 及Si 選擇比較低，除了作為主刻蝕劑外，還可用作其它主刻蝕劑的輔助氣，調(diào)節(jié)氟/碳比。
客服電話： +86-21-62456266
二氟甲烷
代號HFC-32，分子式：CH2F2，作為Si3N4 的各向異性刻蝕氣體，對SiO2 及Si 選擇比較低，除了作為主刻蝕劑外，還可用作其它主刻蝕劑的輔助氣，調(diào)節(jié)氟/碳比。
| 化學(xué)名稱 | 二氟甲烷 |
| 別名 | 二氟化碳, HFC-32, R32 |
| CAS號 | 75-10-5 |
| ELINCS號 | 200-839-4 |
| 化學(xué)式 | CH2F2 |
| 結(jié)構(gòu)式 | CH2F2 |
| 分子量 | 52.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 749 |
| 大氣壽命（年） | 5.27 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化學(xué)名稱 | 二氟甲烷 |
| 沸點（℃） | -52 |
| 熔點（℃） | -136 |
| 液體密度（g/cm3） | 1.1 |
| 蒸汽密度（空氣=1） | 3.82 |
| 飽和蒸氣壓（21.1 °C, kPa) | 1518.92 |
| 臨界溫度（℃） | 78.45 |
| 臨界壓力（MPa） | 5.83 |
| 臨界密度 （g/cm3） | 0.43 |
| 水中溶解度(g/l) | >1.68 |
| 可燃性 | 可燃 |
| 爆炸極限（%vol) | 13-33 |
?
| 純度 | 99.9% | 99.99% |
?
?
| 鋼瓶規(guī)格 | 閥門 | 充裝量 |
| 10 L | CGA 350 / DISS 724 | 7 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 30 kg |
掃一掃立即關(guān)注
官方公眾號
Copyright ? 2021-2024 上海宇極賽氟科技有限公司. ALL RIGHTS RESERVED