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三氟乙酰氟

三氟乙酰氟是兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一,具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)。此外,三氟乙酰氟可與其他組分混合,組成一種低GWP值的制冷劑,使得組合物的GWP≤150,從而滿足碳減排、碳中和的相關(guān)要求。

產(chǎn)品信息概括

產(chǎn)品信息

化學(xué)名稱 三氟乙酰氟
CAS號(hào) 354-34-7
ELINCS號(hào) 206-558-3
化學(xué)式 C2F4O
結(jié)構(gòu)式
分子量 116.01
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) <1
大氣壽命(天) 6.9

 

物理與化學(xué)特性

化學(xué)名稱 三氟乙酰氟
沸點(diǎn)(℃) -59
熔點(diǎn)(℃) -159.46
液體密度(g/cm3) 1.44
飽和蒸氣壓(@20 ℃,MPa) 1.928
臨界溫度(℃) 49.85
閃點(diǎn)(℃) -16.5 ± 20.1
可燃性 可燃

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產(chǎn)品規(guī)格

純度 >99%

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包裝規(guī)格

鋼瓶規(guī)格 閥門 充裝量
10 L CGA 350/DISS 724 5 kg
47 L CGA 350/DISS 724 25 kg

 

產(chǎn)品用途概述

 

1.半導(dǎo)體介質(zhì)刻蝕氣體
三氟乙酰氟具有以下特點(diǎn):
  • 刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工,為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能;
  • 同時(shí)三氟乙酰氟環(huán)境友好,GWP < 1,大氣壽命6.9天,溫室效應(yīng)很低,是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。

 

2.混合制冷劑組分
三氟乙酰氟可與其他組分混合成一種低GWP值(GWP≤150)的制冷劑,從而滿足溫室氣體排放的相關(guān)要求。