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半導(dǎo)體行業(yè)主要涵蓋：半導(dǎo)體原材料生產(chǎn)制造；芯片集成電路的IC設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)；服務(wù)器、手機(jī)、汽車電子、通訊設(shè)備等終端電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和制造。在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的過(guò)程中，工件將不可避免的受到灰塵、金屬顆粒、油脂等有機(jī)物和無(wú)機(jī)物等污染物的污染，從而造成工件表現(xiàn)缺陷、孔內(nèi)污染，大大降低良品率。因此，利用清洗技術(shù)去除附著在工件表面的灰塵、金屬顆粒、油脂等有機(jī)物和無(wú)機(jī)物等污染物是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中必不可少的關(guān)鍵工藝之一。

正溴丙烷（nPB）、二氯甲烷（DCM）、三氯乙烯（TCE）、四氯乙烯（PERC）、三氟三氯乙烷（CFC-113）、一氟二氯乙烷（HCFC-141b）等溶劑型清洗劑產(chǎn)品，由于其無(wú)閃點(diǎn)、不可燃、溶解能力強(qiáng)，同時(shí)又具有較低的成本，因此備受半導(dǎo)體行業(yè)青睞而得到廣泛應(yīng)用。但這些溶劑型清洗劑對(duì)臭氧層有破壞作用，屬于消耗臭氧層物質(zhì)（ODS），具有一定ODP值（破壞臭氧潛值）和較高的GWP值（全球變暖潛值），屬于非環(huán)保型清洗劑，為強(qiáng)制淘汰產(chǎn)品。另外，其中有些清洗劑屬于有毒有害物質(zhì)，長(zhǎng)期接觸將影響身體健康甚至導(dǎo)致職業(yè)病的產(chǎn)生。為保護(hù)作業(yè)者健康和符合環(huán)保要求，半導(dǎo)體行業(yè)在使用溶劑清洗劑時(shí)，需要選擇能夠降低健康風(fēng)險(xiǎn)和符合環(huán)保要求的溶劑清洗劑產(chǎn)品。

為保護(hù)作業(yè)者身體健康和符合環(huán)保要求，宇極科技以環(huán)保型有機(jī)溶劑為基材，開發(fā)出了ODS物質(zhì)溶劑清洗劑產(chǎn)品的替代品 — InnoFluo系列（簡(jiǎn)稱IF系列）半導(dǎo)體溶劑清洗劑。IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑產(chǎn)品特性（表1）與CFC-113和HCFC-141b等傳統(tǒng)溶劑清洗劑十分相似。IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑是一種ODP值為0、GWP值低、無(wú)閃點(diǎn)、不燃、無(wú)毒的安全、環(huán)保型產(chǎn)品，在保證對(duì)油污等有機(jī)物和無(wú)機(jī)物污染物具有極強(qiáng)溶解能力的同時(shí)，兼具優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。

表1. IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑產(chǎn)品特性

IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑產(chǎn)品在清除工件表面助焊劑、油污或指紋等污染物具有優(yōu)異的效果，能夠快速溶解此類污染物并快速揮發(fā)，無(wú)殘留。另外，由于IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑的低表面張力，其更易于滲透至工件間隙清除其中污染物。IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑的使用方法簡(jiǎn)單方便，可采取浸洗、漂洗、蒸汽浴洗、沖洗、擦拭清洗等，適用于超聲波清洗設(shè)備、噴淋清洗設(shè)備以及手工清洗。