超聲波清洗（Ultrasonic Cleaning）是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用以及直進流作用使污染物被分散、乳化、剝離，從而達到清洗的目的。超聲波清洗與一般常規(guī)清洗方法相比，清洗速度快、質(zhì)量高、易于實現(xiàn)自動化，特別適用于表面比較復(fù)雜的工件，例如一些表面凹凸不平、有盲孔的機械零部件，鐘表和精密機械零件、電子元器件、電路板組件等一些特別小且對清潔度有較高要求的產(chǎn)品，使用超聲波清洗均能達到理想的清洗效果。
正溴丙烷（nPB）、二氯甲烷（DCM）、三氯乙烯（TCE）、四氯乙烯（PERC）、三氟三氯乙烷（CFC-113）、一氟二氯乙烷（HCFC-141b）等溶劑型清洗劑產(chǎn)品，由于其無閃點、不可燃、溶解能力強，同時又具有較低的成本，因此備受青睞而占據(jù)著超聲清洗的主導(dǎo)地位。但這些清洗劑屬于ODS物質(zhì)，具有一定ODP值（破壞臭氧潛值）和較高的GWP值（全球變暖潛值），對臭氧層有破壞作用，屬于非環(huán)保型清洗劑，為強制淘汰產(chǎn)品。另外，其中有些清洗劑屬于有毒有害物質(zhì)，長期接觸將影響身體健康甚至導(dǎo)致職業(yè)病的產(chǎn)生。隨著中國淘汰ODS 類物質(zhì)進程的加快，ODS 清洗劑面臨著巨大的淘汰壓力，許多企業(yè)急于尋找適合的替代方案。
在符合環(huán)保要求的同時保護作業(yè)者身體健康，宇極新材料以環(huán)保型有機溶劑為基材，開發(fā)出了ODS類溶劑型清洗劑產(chǎn)品的替代品 — InnoFluo系列（簡稱IF系列）環(huán)保型溶劑清洗劑。IF系列環(huán)保型溶劑清洗劑產(chǎn)品特性（表1）與CFC-113和HCFC-141b等傳統(tǒng)溶劑清洗劑十分相似。IF系列環(huán)保型溶劑清洗劑是一種ODP值為0、GWP值低、無閃點、不燃、無毒的安全、環(huán)保型產(chǎn)品，在保證對油污等有機物和無機物污染物具有極強溶解能力的同時，兼具優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。
表1. IF系列半導(dǎo)體溶劑清洗劑產(chǎn)品特性
| 環(huán)保 | 臭氧消耗潛值（ODP）為0 | 全球變暖潛值（GWP）低 |
| 高效 | 低表面張力
無殘留 |
溶解能力強
干燥速度快 |
| 安全 | 使用過程無毒
不燃 |
無閃點 |
| 穩(wěn)定 | 優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性
使用過程成分穩(wěn)定 |
優(yōu)異的熱穩(wěn)定性 |
| 經(jīng)濟 | 沸點適中
對設(shè)備要求不高 |
揮發(fā)少、消耗量少
可蒸餾再生循環(huán)使用 |
IF系列環(huán)保型溶劑清洗劑的使用方法簡單，可采取浸洗、漂洗、蒸汽浴洗、沖洗、擦拭清洗等，特別適用于超聲波清洗工藝，例如單一純?nèi)軇┏暡ㄇ逑础⒐踩芟到y(tǒng)超聲波清洗、水分去除干燥清洗等。
(1) 單一純?nèi)軇┏暡ㄇ逑?/strong>
InnoFluo系列清洗劑是環(huán)保型有機溶劑混合形成的共沸物，可用于清洗輕質(zhì)污染物、中度污染物及重度污染物，如潤滑油、液壓油、助焊劑、硅油、蠟油、拋光劑等。
InnoFluo系列清洗劑具有表面張力低、粘度低、滲透性強、揮發(fā)速度快、易干燥、易回收再利用等優(yōu)點，能夠滲入復(fù)雜零部件的微小縫隙，從而有效去除精密零部件上的各種污染物。
InnoFluo系列清洗劑作為單一純?nèi)軇┯糜诔暡ㄇ逑?，具有無閃點、清洗能力強、損耗少、易干燥、使用操作簡便、安全環(huán)保等特點。其典型的單一純?nèi)軇┏暡ㄇ逑垂に嚾鐖D1所示。
圖1 IF系列清洗劑單一純?nèi)軇┏暡ㄇ逑垂こ淌疽鈭D
工藝說明
① 溫浴浸洗：工件在清洗劑溫浴槽中通過超聲波去除附著的各種污染物；
② 冷浴漂洗：工件在清洗劑冷浴槽中進行充分冷卻，提高蒸汽清洗效果；
③ 蒸汽清洗：工件在清洗劑蒸汽中進行充分漂洗干燥；
④ 冷凝干燥：工件在自然環(huán)境中進行充分冷凝干燥，實現(xiàn)高質(zhì)量的精密清洗。
(2) 共溶系統(tǒng)超聲波清洗
針對一些難于清洗的中度及重度污染物，可以采用一種共溶系統(tǒng)進行清洗。這種清洗系統(tǒng)包括兩種溶劑：低揮發(fā)性的碳氫類或醇醚類有機溶劑、高揮發(fā)性的InnoFluo系列清洗劑。首先用低揮發(fā)性的碳氫類或醇醚類有機溶劑溶解零部件表面的污染物，然后用高揮發(fā)性的InnoFluo系列清洗劑進行漂洗及蒸汽清洗，從而實現(xiàn)高品質(zhì)精密清洗的目的。
InnoFluo系列清洗劑用于共溶系統(tǒng)超聲波清洗，具有干燥溫度低，對工件熱沖擊小、無污染物與低揮發(fā)性溶劑殘留、適用范圍廣、安全環(huán)保、不需要真空清洗和高溫干燥工序等特點。其典型的共溶系統(tǒng)超聲波清洗工藝如圖2所示。
圖2 IF系列清洗劑共溶系統(tǒng)超聲波清洗工程示意圖
工藝說明
① 溫浴浸洗：工件在清洗劑溫浴槽中通過超聲波去除附著的各種污染物；
② 冷浴漂洗：工件在清洗劑冷浴槽中去除碳氫/醇醚類溶劑；
③ 蒸汽清洗：工件在清洗劑蒸汽中進行充分漂洗干燥；
④ 冷凝干燥：工件在自然環(huán)境中進行充分冷凝干燥，實現(xiàn)高質(zhì)量的精密清洗。
(3) 水分去除干燥清洗
InnoFluo系列清洗劑，可有效去除零部件表面的水分。零部件在用水基清洗劑去除污染物后，再用InnoFluo系列清洗劑進行漂洗和蒸汽浴洗，從而有效去除水分并進行充分干燥。與通風(fēng)干燥方式相比，InnoFluo系列清洗劑可明顯縮短干燥時間，并避免水漬的產(chǎn)生。
InnoFluo系列清洗劑用于水分去除干燥清洗，具有水分去除能力強、無水漬殘留、干燥時間短、使用操作簡便、安全環(huán)保等特點。其典型的水分去除干燥清洗工藝如圖3所示。
圖3 IF系列清洗劑水分去除干燥清洗工程示意圖
工藝說明
① 浸洗：工件在水基清洗劑中通過超聲波去除附著的各種污染物；
② 純水漂洗：工件在純水中去除水基清洗劑殘留；
③ 冷浴漂洗：工件在清洗劑冷浴槽中進行脫水；
④ 蒸汽清洗：工件在清洗劑蒸汽中進行充分漂洗干燥；
⑤ 冷凝干燥：工件在自然環(huán)境中進行充分冷凝干燥，實現(xiàn)高質(zhì)量的精密清洗。
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